| 分解能 | 高真空モード 3.0 nm （ 30 kV ）、20 nm （ 1 kV ） |
| 分解能 | 低真空モード 4.0nm （ 30 kV ） |
| 倍率 | ×8 ? ×300,000 （ 加速電圧 11 kV以上 ） ×5 ? ×300,000 （ 加速電圧 10 kV以下 ） |
| プリセット倍率 | 5 段、各ユーザー設定可 |
| スマイルショツト | 有り |
| 操作条件メモリ （ レシピ ） | 照射系、試料ステージ、画像モード、 試料室圧力、標準レシピあり |
| 画像モード | 二次電子像、組成像、凹凸像、立体像 |
| 加速電圧 | 03 kV ? 30 kV |
| フィラメント | ファクトリプリセンター形 |
| 電子銃 | 完全自動、手動調整可能 |
| コンデンサレンズ | ズーム形 |
| 対物レンズ | スーパーコニカル形 |
| 対物レンズ絞り | 3 段、XY 微調整つき |
| 非点メモリ | 有り |
| イメージシフト | ±50μm ( 作動距離 10 mm ) |
| 自動機能 | フォーカス、露出、非点補正 |
| 試料ステージ | 大形ユーセントリック形
X : 125 mm、Y : 100 mm、Z : 5 mm ? 80 mm、 |
| 比較およびナビゲータ画面 | 2 画面 |
| 試料交換 | 試料室ドアを開けて交換 |
| 最大試料寸法 | 200 mm 径 |
| コンピュータ | IBM (R) PC/AT (R) 互換機 |
| OS | Windows XP |
| 観察モニタ | 15 型 LCD、1台 |
| 画像メモリ | 640×480 画素、1,280×960 画素、 2,560×1,920 画素 |
| フル画面表示 | 有り |
| 擬似カラー | 有り |
| 分割画面表示 | 2 画像、4 画像 |
| デジタルズーム表示 | 有り |
| デュアルマグ | 有り |
| ネットワーク | イーサーネット（現在は接続なし） |
| 測長機能 | 有り |
| 画像フォーマット | BMP、TIFF、JPEG |
| 画像自動保存 | 有り |
| スマイルビュー | 有り |
| 排気系 | 完全自動、DP : 1台、RP : 2台 |
| 真空モード切換 | 操作メニュー上、1 分以内 |
| 低真空圧力 | 1 ?270 Pa |
| 主なオプション | 反射電子検出器 低真空用二次電子検出器 チャンバースコープ 操作つまみ 画像編集ソフト (スマイルビュー) 操作部テーブル |